真空鍍膜設(shè)備在工作的時候會產(chǎn)生大量的熱量，為了設(shè)備的長期溫度的使用，所以真空鍍膜設(shè)備在工作的時候必須通入冷卻水維持其溫度，避免溫度過高造成設(shè)備的老化或者損壞。真空鍍膜設(shè)備冷卻主要分為腔體冷卻和靶材冷卻。

腔體冷卻是只真空鍍膜腔體在工作的時候其內(nèi)部會產(chǎn)生高溫，避免腔體因高溫導(dǎo)致老化所以在其腔體內(nèi)部一般需要通入冷卻水進(jìn)行控溫靶材冷卻是只鍍膜是的靶材會通入大量電流進(jìn)入從而導(dǎo)致靶材溫度升高，若不能及時進(jìn)行冷卻降溫將會導(dǎo)致靶材的損壞。